半導(dǎo)體公司采用歐姆龍的PLC和視覺傳感器通過對拉升零界點直徑的控制達到其工藝要求。 視覺傳感器采用F160-10E的控制器及F150-S1A普通型攝像機，其F150-S1A普通型攝像機設(shè)置于爐體上方，鏡頭對準(zhǔn)于零界點直徑（由于零界點直徑亮度較強，明暗對比度明顯，因此無需加光源，若對比度不明顯需加光源）。通過攝像機對物體的觀察把數(shù)據(jù)傳入F160-10E控制器特定的數(shù)據(jù)區(qū)內(nèi)，然后經(jīng)串行RS232通信線把數(shù)據(jù)傳入PLC的數(shù)據(jù)區(qū)，其通訊協(xié)議為Host Link協(xié)議進行數(shù)據(jù)傳送。 PLC和視覺傳感器的通訊格式要一致。 若無需從傳感器中讀取數(shù)據(jù)，可直接使用外部的開關(guān)量來進行對視覺傳感器對其進行控制。 海納單晶爐控制主要分為手動控制，真空系統(tǒng)，回路控制，CCD直徑。手動控制可分為晶轉(zhuǎn)(round/min)，晶升(mm/hour)，堝升(mm/hour)，堝轉(zhuǎn)(round/hour)。 晶轉(zhuǎn)由伺服電機+編碼器+伺服驅(qū)動（200W）進行恒定速度控制，堝轉(zhuǎn)由伺服電機+編碼器+伺服驅(qū)動（200W）進行恒定速度控制，晶升由伺服電機+編碼器+伺服驅(qū)動（200W），編碼器每轉(zhuǎn)六圈，其晶升就上升一格（1厘米）。 堝升由伺服電機+編碼器+伺服驅(qū)動（200W），編碼器每轉(zhuǎn)六圈，其堝升就上升一格（1厘米）。真空系統(tǒng)：顯示爐內(nèi)壓力，流量閥流量。 回路控制分為溫度控制，直徑控制，升溫控制，堝比控制。 溫度控制：當(dāng)打到手動時，電加熱管的功率大小由設(shè)定功率來控制，即電加熱管由設(shè)定的功率來運行。若打到自動時，功率的大小由實際溫度來控制，即當(dāng)溫度上升到設(shè)定溫度時，其加熱管就由該溫度下的功率運行。 直徑控制：當(dāng)打到手動時，晶升速度有晶升速度設(shè)定值來控制，即晶升速度由設(shè)定晶升速度來運行，若打到自動時，晶升速度由實際直徑來控制，即當(dāng)視覺傳感器反饋回來的直徑達到設(shè)定的直徑時，其晶升速度就由該直徑下的速度進行運行。 升溫控制：自動運行下，晶升實際值和晶升期望值（根據(jù)工藝計算出來的理想值）來進行比較。 堝比控制：通過對堝比的變化來進行對堝升電機的控制，從而達到工藝要求，堝升=晶升*堝比。 CCD直徑：可進行對視頻的轉(zhuǎn)化功能，從中可選用紅外線傳感器或視覺傳感器。 通過視覺對直徑（精度0.1）的數(shù)據(jù)記錄，然后反映到PLC中進行工藝上的拉升控制。